非破坏式量测方式 透明基板可以量测
高速量测: 每分钟测量1000点以上
高分辨率: 可以在5.5*5.5μm~0.5*0.5 mm的微小方形区域测量
高精确度: 可检测1nm以下的超薄膜厚
高再现性: 膜厚: 0.1 nm，折射率: 0.001
多变焦功能: 可以从整体晶圆测量，到局部测量皆可，可以依客户自由指定测量区域
强大分析工具: 任意两点的膜厚分布线图表，任意区域的膜厚平均值和标准偏差之计算

非破坏式量测方式
测量速度:小于0.05 s/point
分辨率: 可以在1.0*1.0 mm的微小方形区域测量
高精确度: 可检测1nm以下的超薄膜厚
高再现性: 膜厚: 0.1 nm，折射率: 0.001
简易操作: 不采用驱动部分，可减少校正麻烦
模块化应用: 头部可拆卸，可供应用于其他系统