偏光量测 膜厚自动量测型

高速型

非破坏式量测方式
测量速度:小于0.05 s/point
分辨率: 可以在1.0*1.0 mm的微小方形区域测量
高精确度: 可检测1nm以下的超薄膜厚
高再现性: 膜厚: 0.1 nm，折射率: 0.001
简易操作: 不采用驱动部分，可减少校正麻烦
模块化应用: 头部可拆卸，可供应用于其他系统

测定方式: PCA
再现性: 膜厚0.1nm
光源: 半导体雷射636nm
量测点(方形)
线测定:0.5mm
面测定:0.1mm 入射角: 标准70度
台面大小: 4"
量测速度(面测定): 最高10000点/分
尺寸: 258*300*235mm
重量: 9Kg
配件: PC