CCD像素: 1360*1024 pixels
LED光源: 白(550nm) (约40,000小时寿命)(可选配其他颜色)
Z轴行程: 40mm(1.6″)
Z轴线精度:<0.5μm/mm
Z轴分辨率: 2nm
最大垂直扫描范围:共轭焦36mm，白光干涉7mm，多焦面迭加25mm
台阶高度重复性:<3nm
样品反射率:0.05%~100%
显示分辨率:0.01nm
倍率: 共轭焦2.5X~150X  白光干涉5X~100X
XY手动移动台行程:200*200mm / 300*300mm / 500*500mm
气浮式光学防震工作桌