CCD像素: 1360*1024 pixels
LED光源: 紅(630nm)、綠(530nm)、藍(460nm)、白(550nm)
Z軸行程: 40mm
Z軸測量範圍:PSI 20μm，ePSI 100μm，VSI 10mm，共軛焦 10mm，多焦面疊加 37mm
Z軸線精度:0.5μm/mm
Z軸分辨率:2nm
台階高度重複性:0.1%
台階精度:0.5%
樣品反射率:0.05%~100%
顯示分辨率:0.001nm
倍率: 共軛焦2.5X~150X 白光干涉2.5X~100X
XY手動移動台行程:200*200mm / 300*300mm / 500*500mm
氣浮式光學防震工作桌