CCD像素: 1360*1024 pixels
LED光源: 白(550nm) (約40,000小時壽命)(可選配其他顏色)
Z軸行程: 40mm(1.6″)
Z軸線精度:<0.5μm/mm
Z軸分辨率: 2nm
最大垂直掃描範圍:共軛焦36mm，白光干涉7mm，多焦面疊加25mm
台階高度重複性:<3nm
樣品反射率:0.05%~100%
顯示分辨率:0.01nm
倍率: 共軛焦2.5X~150X 白光干涉5X~100X
XY手動移動台行程:200*200mm / 300*300mm / 500*500mm
氣浮式光學防震工作桌